超聲波技術(shù)背景：

    超聲波清洗劑技術(shù)最早出現(xiàn)在20世紀(jì)30年代初。當(dāng)時(shí)，位于美國新澤西州的美國無線電公司實(shí)驗(yàn)室的技術(shù)人員試圖用自制的簡單超聲波清洗系統(tǒng)清洗某些物體，但實(shí)驗(yàn)失敗。當(dāng)時(shí)使用的超聲波工作頻率在20~40kHz之間。這范圍內(nèi)的超聲波應(yīng)用于數(shù)千種不同的工作場合，其中許多是其他清洗方法不能很好地發(fā)揮作用的場合。然而，在某些情況下，超聲波強(qiáng)大的能量也會(huì)損壞粘結(jié)污垢和脆弱的基材。在過去的十年里，超聲波領(lǐng)域出現(xiàn)了一些技術(shù)創(chuàng)新，提高了去除敏感基礎(chǔ)上污垢的安全系數(shù)。因此，對工件施加很大的能量，特別適合清除附著在基底上的污垢。談到超聲波技術(shù)，特別是中高頻超聲波清洗技術(shù)有了新的發(fā)展，成為行業(yè)的亮點(diǎn)。

     近年來，人們發(fā)現(xiàn)使用兆聲波(根據(jù)超聲波的頻率不同，40kHz及以下稱為常規(guī)或低頻超聲波，1000kHz以上稱為高頻超聲波，也稱為兆頻超聲波，簡稱兆聲波)清洗可以去除半導(dǎo)體材料表面的超細(xì)污垢顆粒，不會(huì)損傷基底材料表面。目前，該技術(shù)已迅速普及。